SiC coating carrier para sa semiconductor etching

Maikling Paglalarawan:

Ang Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. ay isang nangungunang supplier ng mga advanced na semiconductor ceramics. Kabilang sa aming mga pangunahing produkto ang: Silicon carbide etched disc, silicon carbide boat trailer, silicon carbide wafer ships (PV & Semiconductor), silicon carbide furnace tubes, silicon carbide cantilever paddles, silicon carbide chuck, silicon carbide beams, pati na rin ang CVD SiC coatings at Mga coatings ng TaC.

Ang mga produkto ay pangunahing ginagamit sa mga industriya ng semiconductor at photovoltaic, tulad ng paglaki ng kristal, epitaxy, etching, packaging, coating at diffusion furnace equipment.

 

 


Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Paglalarawan

Nagbibigay ang aming kumpanya ng mga serbisyo sa proseso ng SiC coating sa pamamagitan ng CVD na pamamaraan sa ibabaw ng grapayt, keramika at iba pang mga materyales, upang ang mga espesyal na gas na naglalaman ng carbon at silikon ay tumutugon sa mataas na temperatura upang makakuha ng mataas na kadalisayan ng mga molekula ng SiC, mga molekula na idineposito sa ibabaw ng mga pinahiran na materyales, bumubuo ng SIC protective layer.

Pangunahing Tampok

1. Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon:
ang oxidation resistance ay napakahusay pa rin kapag ang temperatura ay kasing taas ng 1600 C.
2. Mataas na kadalisayan: ginawa sa pamamagitan ng chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na kondisyon ng chlorination.
3. Erosion resistance: mataas na tigas, compact surface, fine particles.
4. Corrosion resistance: acid, alkali, asin at organic reagents.

Pangunahing Detalye ng CVD-SIC Coating

Mga Katangian ng SiC-CVD

Istraktura ng Kristal FCC β phase
Densidad g/cm ³ 3.21
Katigasan Vickers tigas 2500
Sukat ng Butil μm 2~10
Kalinisan ng Kemikal % 99.99995
Kapasidad ng init J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura ng Sublimation 2700
Lakas ng Felexural MPa (RT 4-point) 415
Young's Modulus Gpa (4pt bend, 1300℃) 430
Thermal Expansion (CTE) 10-6K-1 4.5
Thermal conductivity (W/mK) 300
Lugar ng trabaho sa Semicera
Lugar ng trabaho sa Semicera 2
Makina ng kagamitan
Pagproseso ng CNN, paglilinis ng kemikal, patong ng CVD
Ang aming serbisyo

  • Nakaraan:
  • Susunod: