RTP CVD SiC Ring

Maikling Paglalarawan:

Ang mga RTP CVD SiC ring ay pangunahing binubuo ng silicon carbide (SiC), na ang kemikal na komposisyon at istraktura ng kristal ay nagbibigay ng mahusay na pagganap. Ang Silicon carbide ay isang ceramic na materyal na may mataas na punto ng pagkatunaw, mataas na tigas at mahusay na paglaban sa kaagnasan. Ito ay nagpapakita ng magandang thermal conductivity at chemical stability sa mataas na temperatura, at may mahusay na mekanikal na lakas at wear resistance.

Magpadala ng email sa amin

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Bakit Silicon Carbide Etching Ring ?

RTPMga singsing ng CVD SiCay malawakang ginagamit sa pang-industriya at pang-agham na larangan sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran. Ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa paggawa ng semiconductor, optoelectronics, precision machinery at industriya ng kemikal. Kasama sa mga partikular na application ang:

1. Paggawa ng semiconductor:RTP CVD SiC ringsay maaaring gamitin para sa pagpainit at paglamig ng mga kagamitang semiconductor, na nagbibigay ng matatag na kontrol sa temperatura at tinitiyak ang katumpakan at pagkakapare-pareho ng proseso.

2. Optoelectronics: Dahil sa mahusay na thermal conductivity at mataas na temperatura resistance, RTPMga singsing ng CVD SiCay maaaring gamitin bilang suporta at init dissipation na materyales para sa mga laser, fiber optic na kagamitan sa komunikasyon at optical na bahagi.

3. Precision na makinarya: RTP CVD SiC rings ay maaaring gamitin para sa precision instruments at equipment sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran, tulad ng mga high temperature furnace, vacuum device at chemical reactors.

4. Industriya ng kemikal: Dahil sa resistensya ng kaagnasan at katatagan ng kemikal, ang mga singsing na RTP CVD SiC ay maaaring gamitin sa mga lalagyan, tubo at reaktor sa mga reaksiyong kemikal at mga prosesong catalytic.

Sistema ng Epi

Sistema ng RTP

Sistema ng CVD

Pagganap ng produkto:

1. Matugunan ang proseso sa ibaba 28nm

2. Super corrosion resistance

3. Super malinis na pagganap

4. Super tigas

5. Mataas na density

6. Mataas na temperatura pagtutol

7. Magsuot ng panlaban

Application ng produkto:

Ang mga materyales ng Silicon carbide ay may mga katangian ng mataas na tigas, paglaban sa pagsusuot, paglaban sa kaagnasan at katatagan ng mataas na temperatura. Ang mga produktong may mahusay na komprehensibong pagganap ay malawakang ginagamit sa dry etching at mga proseso ng TF/Diffusion.