Proseso ng paggawa ng wafer ng silicone carbide

Silicon carbide waferay gawa sa mataas na kadalisayan na silikon na pulbos at mataas na kadalisayan ng carbon powder bilang hilaw na materyales, at ang silicon carbide na kristal ay lumago sa pamamagitan ng pisikal na paraan ng paglipat ng singaw (PVT), at pinoproseso sawafer ng silikon karbida.

① Raw material synthesis.Ang mataas na kadalisayan na silikon na pulbos at mataas na kadalisayan na pulbos ng carbon ay pinaghalo ayon sa isang tiyak na ratio, at ang mga particle ng silicon carbide ay na-synthesize sa mataas na temperatura na higit sa 2,000 ℃.Pagkatapos ng pagdurog, paglilinis at iba pang mga proseso, ang mataas na kadalisayan ng silicon carbide powder na hilaw na materyales na nakakatugon sa mga kinakailangan ng paglaki ng kristal ay inihanda.

② Paglago ng kristal.Gamit ang mataas na kadalisayan ng SIC powder bilang hilaw na materyal, ang kristal ay pinalaki sa pamamagitan ng physical vapor transfer (PVT) na pamamaraan gamit ang self-developed crystal growth furnace.

③ pagproseso ng ingot.Ang nakuha na silicon carbide crystal ingot ay naka-orient sa pamamagitan ng X-ray single crystal orientator, pagkatapos ay giniling at pinagsama, at naproseso sa karaniwang diameter na silicon carbide crystal.

④ Pagputol ng kristal.Gamit ang multi-line cutting equipment, ang mga silicon carbide crystal ay pinuputol sa manipis na mga sheet na may kapal na hindi hihigit sa 1mm.

⑤ Paggiling ng chip.Ang wafer ay giniling sa nais na patag at gaspang sa pamamagitan ng mga likidong nakakagiling ng brilyante na may iba't ibang laki ng butil.

⑥ Chip polishing.Ang pinakintab na silicon carbide na walang pinsala sa ibabaw ay nakuha sa pamamagitan ng mekanikal na buli at kemikal na mekanikal na buli.

⑦ Pagtuklas ng chip.Gumamit ng optical microscope, X-ray diffractometer, atomic force microscope, non-contact resistivity tester, surface flatness tester, surface defect comprehensive tester at iba pang mga instrumento at kagamitan upang makita ang microtubule density, kalidad ng kristal, pagkamagaspang sa ibabaw, resistivity, warpage, curvature, pagbabago ng kapal, scratch ibabaw at iba pang mga parameter ng silicon carbide wafer.Ayon dito, natutukoy ang antas ng kalidad ng chip.

⑧ Paglilinis ng chip.Ang silicon carbide polishing sheet ay nililinis gamit ang cleaning agent at purong tubig upang alisin ang natitirang buli na likido at iba pang dumi sa ibabaw sa polishing sheet, at pagkatapos ay ang wafer ay hihipan at inalog tuyo ng ultra-high purity nitrogen at drying machine;Ang wafer ay naka-encapsulated sa isang malinis na sheet box sa isang super-clean chamber upang bumuo ng downstream na handa nang gamitin na silicon carbide wafer.

Kung mas malaki ang laki ng chip, mas mahirap ang kaukulang paglago ng kristal at teknolohiya sa pagproseso, at mas mataas ang kahusayan sa pagmamanupaktura ng mga downstream na aparato, mas mababa ang halaga ng yunit.