Ipinakilala ni Semicera angWafer Cassette Carrier, isang kritikal na solusyon para sa ligtas at mahusay na paghawak ng mga semiconductor wafer. Ang carrier na ito ay ininhinyero upang matugunan ang mahigpit na mga kinakailangan ng industriya ng semiconductor, na tinitiyak ang proteksyon at integridad ng iyong mga wafer sa buong proseso ng pagmamanupaktura.
Mga Pangunahing Tampok:
•Matatag na Konstruksyon:AngWafer Cassette Carrieray binuo mula sa mataas na kalidad, matibay na mga materyales na lumalaban sa kahirapan ng mga kapaligiran ng semiconductor, na nagbibigay ng maaasahang proteksyon laban sa kontaminasyon at pisikal na pinsala.
•Tumpak na Pag-align:Dinisenyo para sa tumpak na pagkakahanay ng wafer, tinitiyak ng carrier na ito na ligtas na nakalagay ang mga wafer, na pinapaliit ang panganib ng maling pagkakahanay o pinsala sa panahon ng transportasyon.
•Madaling Paghawak:Dinisenyo nang ergonomiko para sa kadalian ng paggamit, pinapasimple ng carrier ang proseso ng paglo-load at pagbaba ng karga, pagpapabuti ng kahusayan sa daloy ng trabaho sa mga kapaligiran sa malinis na silid.
•Pagkakatugma:Tugma sa malawak na hanay ng mga laki at uri ng wafer, na ginagawa itong versatile para sa iba't ibang pangangailangan sa pagmamanupaktura ng semiconductor.
Makaranas ng walang kapantay na proteksyon at kaginhawahan sa Semicera'sWafer Cassette Carrier. Ang aming carrier ay idinisenyo upang matugunan ang pinakamataas na pamantayan ng paggawa ng semiconductor, na tinitiyak na ang iyong mga wafer ay mananatili sa malinis na kondisyon mula simula hanggang matapos. Pagkatiwalaan ang Semicera upang maihatid ang kalidad at pagiging maaasahan na kailangan mo para sa iyong pinakamahalagang proseso.
| Mga bagay | Produksyon | Pananaliksik | Dummy |
| Mga Parameter ng Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Error sa oryentasyon sa ibabaw | <11-20 >4±0.15° | ||
| Mga Parameter ng Elektrisidad | |||
| Dopant | n-type na Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mga Parameter ng Mekanikal | |||
| diameter | 150.0±0.2mm | ||
| kapal | 350±25 μm | ||
| Pangunahing patag na oryentasyon | [1-100]±5° | ||
| Pangunahing patag na haba | 47.5±1.5mm | ||
| Pangalawang flat | wala | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| yumuko | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kagaspangan sa harap(Si-face)(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Istruktura | |||
| Densidad ng micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Mga dumi ng metal | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kalidad sa Harap | |||
| harap | Si | ||
| Pang-ibabaw na tapusin | Si-face CMP | ||
| Mga particle | ≤60ea/wafer (laki≥0.3μm) | NA | |
| Mga gasgas | ≤5ea/mm. Pinagsama-samang haba ≤Diameter | Pinagsama-samang haba≤2*Diameter | NA |
| Orange peel/pits/stains/striations/ cracks/contamination | wala | NA | |
| Edge chips/indents/fracture/hex plates | wala | ||
| Mga lugar ng polytype | wala | Pinagsama-samang lugar≤20% | Pinagsama-samang lugar≤30% |
| Pagmarka ng laser sa harap | wala | ||
| Kalidad ng Bumalik | |||
| Back finish | C-face CMP | ||
| Mga gasgas | ≤5ea/mm, Pinagsama-samang haba≤2*Diameter | NA | |
| Mga depekto sa likod (mga edge chips/indents) | wala | ||
| Kagaspang sa likod | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pagmarka ng likod ng laser | 1 mm (mula sa itaas na gilid) | ||
| gilid | |||
| gilid | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-ready na may vacuum packaging Multi-wafer cassette packaging | ||
| *Mga Tala: Ang ibig sabihin ng "NA" ay walang kahilingan Ang mga bagay na hindi nabanggit ay maaaring sumangguni sa SEMI-STD. | |||
