Tantalum carbide coated susceptor support plateay isang susceptor o istraktura ng suporta na natatakpan ng manipis na layer ngtantalum carbide. Ang patong na ito ay maaaring mabuo sa ibabaw ng susceptor sa pamamagitan ng mga pamamaraan tulad ng physical vapor deposition (PVD) o chemical vapor deposition (CVD), na nagbibigay sa susceptor ng superior properties ngtantalum carbide.
Nagbibigay ang Semicera ng espesyal na tantalum carbide (TaC) coatings para sa iba't ibang bahagi at carrier.Ang Semicera leading coating process ay nagbibigay-daan sa tantalum carbide (TaC) coatings na makamit ang mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical tolerance, pagpapabuti ng kalidad ng produkto ng SIC/GAN crystals at EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), at pagpapahaba ng buhay ng mga pangunahing bahagi ng reaktor. Ang paggamit ng tantalum carbide TaC coating ay upang malutas ang problema sa gilid at mapabuti ang kalidad ng paglaki ng kristal, at nalutas ng Semicera ang tantalum carbide coating technology (CVD), na umabot sa internasyonal na advanced na antas.
Matapos ang mga taon ng pag-unlad, nasakop ng Semicera ang teknolohiya ngCVD TaCsa magkasanib na pagsisikap ng departamento ng R&D. Ang mga depekto ay madaling mangyari sa proseso ng paglago ng SiC wafers, ngunit pagkatapos gamitinTaC, ang pagkakaiba ay makabuluhan. Nasa ibaba ang isang paghahambing ng mga wafer na may at walang TaC, pati na rin ang mga bahagi ng Simicera para sa solong paglaki ng kristal.
Ang mga pangunahing tampok ng tantalum carbide coated base support plates ay kinabibilangan ng:
1. Katatagan ng mataas na temperatura: Ang Tantalum carbide ay may mahusay na katatagan ng mataas na temperatura, na ginagawang angkop ang coated base support plate para sa mga pangangailangan ng suporta sa mga kapaligirang nagtatrabaho sa mataas na temperatura.
2. Corrosion resistance: Ang Tantalum carbide coating ay may magandang corrosion resistance, maaaring labanan ang kemikal na kaagnasan at oksihenasyon, at pahabain ang buhay ng serbisyo ng base.
3. Mataas na tigas at wear resistance: Ang mataas na tigas ng tantalum carbide coating ay nagbibigay sa base support plate ng magandang wear resistance, na angkop para sa mga okasyong nangangailangan ng mataas na wear resistance.
4. Katatagan ng kemikal: Ang Tantalum carbide ay may mataas na katatagan sa iba't ibang mga kemikal na sangkap, na ginagawang mahusay ang pinahiran na base support plate sa ilang kinakaing unti-unti na kapaligiran.
mayroon at walang TaC
Pagkatapos gamitin ang TaC (kanan)
Bukod dito, ang Semicera'sMga produktong pinahiran ng TaCnagpapakita ng mas mahabang buhay ng serbisyo at mas mataas na paglaban sa mataas na temperatura kumpara saSiC coatings.Ang mga sukat sa laboratoryo ay nagpakita na ang amingTaC coatingsmaaaring patuloy na gumanap sa mga temperatura hanggang 2300 degrees Celsius para sa pinalawig na mga panahon. Nasa ibaba ang ilang halimbawa ng aming mga sample:
