Tantalum carbide coated graphite sheetay isang materyal na grapayt na may manipis na layer ngtantalum carbidesa ibabaw ng substrate. Ang manipis na layer ng tantalum carbide ay karaniwang nabubuo sa ibabaw ng graphite substrate sa pamamagitan ng mga pamamaraan tulad ng physical vapor deposition (PVD) o chemical vapor deposition (CVD). Ang coating na ito ay may mahusay na mga katangian tulad ng mataas na tigas, mahusay na wear resistance, corrosion resistance at mataas na temperatura na katatagan.
Nagbibigay ang Semicera ng espesyal na tantalum carbide (TaC) coatings para sa iba't ibang bahagi at carrier.Ang Semicera leading coating process ay nagbibigay-daan sa tantalum carbide (TaC) coatings na makamit ang mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical tolerance, pagpapabuti ng kalidad ng produkto ng SIC/GAN crystals at EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), at pagpapahaba ng buhay ng mga pangunahing bahagi ng reaktor. Ang paggamit ng tantalum carbide TaC coating ay upang malutas ang problema sa gilid at mapabuti ang kalidad ng paglaki ng kristal, at nalutas ng Semicera ang tantalum carbide coating technology (CVD), na umabot sa internasyonal na advanced na antas.
Matapos ang mga taon ng pag-unlad, nasakop ng Semicera ang teknolohiya ngCVD TaCsa magkasanib na pagsisikap ng departamento ng R&D. Ang mga depekto ay madaling mangyari sa proseso ng paglago ng SiC wafers, ngunit pagkatapos gamitinTaC, ang pagkakaiba ay makabuluhan. Nasa ibaba ang isang paghahambing ng mga wafer na may at walang TaC, pati na rin ang mga bahagi ng Simicera para sa solong paglaki ng kristal.
Ang mga pangunahing bentahe ng tantalum carbide coated graphite sheet ay kinabibilangan ng:
1. Mataas na paglaban sa temperatura: Ang Tantalum carbide ay may mataas na punto ng pagkatunaw at mahusay na katatagan ng mataas na temperatura, na ginagawang angkop ang coated graphite sheet para gamitin sa mga kapaligirang may mataas na temperatura.
2. Corrosion resistance: Ang Tantalum carbide coating ay maaaring labanan ang pagguho ng maraming kemikal na kinakaing unti-unti na mga sangkap at pahabain ang buhay ng serbisyo ng materyal.
3. Mataas na tigas: Ang mataas na tigas ng tantalum carbide thin layer ay nagbibigay ng magandang wear resistance at angkop para sa mga application na nangangailangan ng mataas na wear resistance.
4. Katatagan ng kemikal: Ang Tantalum carbide coating ay may mahusay na katatagan sa chemical corrosion at angkop para sa paggamit sa ilang corrosive media.
mayroon at walang TaC
Pagkatapos gamitin ang TaC (kanan)
Bukod dito, ang Semicera'sMga produktong pinahiran ng TaCnagpapakita ng mas mahabang buhay ng serbisyo at mas mataas na paglaban sa mataas na temperatura kumpara saSiC coatings.Ang mga sukat sa laboratoryo ay nagpakita na ang amingTaC coatingsay maaaring patuloy na gumanap sa mga temperatura hanggang sa 2300 degrees Celsius para sa pinalawig na mga panahon. Nasa ibaba ang ilang halimbawa ng aming mga sample:
