Ang TaC Coated Plate ay isang espesyal na disc na idinisenyo para gamitin sa mga proseso ng SiC epitaxial, na ginawa nang may katumpakan mula sa de-kalidad na materyal na grapayt. Ang ibabaw nito ay maingat na pinahiran ng tantalum carbide (TaC), isang tambalang kilala sa pambihirang kadalisayan at lakas nito. Ang TaC coating ay pinahuhusay ang tibay at paglaban ng plato sa mataas na temperatura, na ginagawa itong perpekto para sa hinihingi na mga kondisyon ng SiC epitaxial na proseso.
Ang makabagong TaC Coated Plate na ito ay isang espesyal na disc na idinisenyo para gamitin sa mga proseso ng SiC epitaxial, na ginawa nang may katumpakan mula sa de-kalidad na materyal na grapayt. Ang ibabaw ng TaC Coated Plate ay meticulously coated na may tantalum carbide (TaC), isang compound na kilala sa pambihirang kadalisayan at lakas nito. nagsisilbing maaasahang plataporma para sa pagdadala ng mga wafer sa iba't ibang yugto ng paglaki ng epitaxial ng SiC. Ang high-purity graphite base nito ay nagbibigay ng stable at inert surface, habang ang TaC coating ay nagdaragdag ng karagdagang layer ng proteksyon laban sa mga kemikal na reaksyon at pagkasira.
SemickapanahunanAng TaC Coated Plate ay na-customize ayon sa mga partikular na pangangailangan ng mga customer, na tinitiyak ang pinakamainam na pagganap at pagiging tugma sa kanilang mga SiC epitaxial system. Maging ito ay laki, hugis, o iba pang mga detalye, ang mga plate na ito ay iniakma upang matugunan ang mga natatanging pangangailangan ng bawat aplikasyon.
mayroon at walang TaC
Pagkatapos gamitin ang TaC (kanan)
Bukod dito, ang Semicera'sMga produktong pinahiran ng TaCnagpapakita ng mas mahabang buhay ng serbisyo at mas mataas na paglaban sa mataas na temperatura kumpara saSiC coatings.Ang mga sukat sa laboratoryo ay nagpakita na ang amingTaC coatingsay maaaring patuloy na gumanap sa mga temperatura hanggang sa 2300 degrees Celsius para sa pinalawig na mga panahon. Nasa ibaba ang ilang halimbawa ng aming mga sample:
