TaC coatingay isang mahalagang materyal na patong, na kadalasang inihahanda sa isang graphite base sa pamamagitan ng teknolohiyang metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). Ang coating na ito ay may mahusay na mga katangian, tulad ng mataas na tigas, mahusay na wear resistance, mataas na temperatura resistance at chemical stability, at ito ay angkop para sa iba't ibang high-demand na mga aplikasyon ng engineering.
Ang teknolohiya ng MOCVD ay isang karaniwang ginagamit na teknolohiya sa paglago ng manipis na pelikula na nagdedeposito ng nais na tambalang pelikula sa ibabaw ng substrate sa pamamagitan ng pagtugon sa mga metal na organic precursor na may mga reaktibong gas sa mataas na temperatura. Kapag naghahandaTaC coating, pagpili ng naaangkop na mga metal na organic precursors at mga mapagkukunan ng carbon, pagkontrol sa mga kondisyon ng reaksyon at mga parameter ng deposition, isang pare-pareho at siksik na TaC film ay maaaring ideposito sa isang graphite base.
Nagbibigay ang Semicera ng espesyal na tantalum carbide (TaC) coatings para sa iba't ibang bahagi at carrier.Ang Semicera leading coating process ay nagbibigay-daan sa tantalum carbide (TaC) coatings na makamit ang mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical tolerance, pagpapabuti ng kalidad ng produkto ng SIC/GAN crystals at EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), at pagpapahaba ng buhay ng mga pangunahing bahagi ng reaktor. Ang paggamit ng tantalum carbide TaC coating ay upang malutas ang problema sa gilid at mapabuti ang kalidad ng paglaki ng kristal, at nalutas ng Semicera ang tantalum carbide coating technology (CVD), na umabot sa internasyonal na advanced na antas.
Matapos ang mga taon ng pag-unlad, nasakop ng Semicera ang teknolohiya ngCVD TaCsa magkasanib na pagsisikap ng departamento ng R&D. Ang mga depekto ay madaling mangyari sa proseso ng paglago ng SiC wafers, ngunit pagkatapos gamitinTaC, ang pagkakaiba ay makabuluhan. Nasa ibaba ang isang paghahambing ng mga wafer na may at walang TaC, pati na rin ang mga bahagi ng Simicera para sa solong paglaki ng kristal.
mayroon at walang TaC
Pagkatapos gamitin ang TaC (kanan)
Bukod dito, ang Semicera'sMga produktong pinahiran ng TaCnagpapakita ng mas mahabang buhay ng serbisyo at mas mataas na paglaban sa mataas na temperatura kumpara saSiC coatings.Ang mga sukat sa laboratoryo ay nagpakita na ang amingTaC coatingsmaaaring patuloy na gumanap sa mga temperatura hanggang 2300 degrees Celsius para sa pinalawig na mga panahon. Nasa ibaba ang ilang halimbawa ng aming mga sample:
