TaC coated graphite guide ringssumangguni sa pagtitiwalag ng isang manipis na layer ngtantalum carbidesa ibabaw ng isang graphite guide ring upang mapabuti ang wear resistance, mataas na temperatura resistance at chemical stability. Ang patong na ito ay karaniwang nabubuo sa ibabaw ng isang graphite guide ring sa pamamagitan ng mga pamamaraan tulad ng physical vapor deposition (PVD) o chemical vapor deposition (CVD).
Nagbibigay ang Semicera ng espesyal na tantalum carbide (TaC) coatings para sa iba't ibang bahagi at carrier.Ang Semicera leading coating process ay nagbibigay-daan sa tantalum carbide (TaC) coatings na makamit ang mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical tolerance, pagpapabuti ng kalidad ng produkto ng SIC/GAN crystals at EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), at pagpapahaba ng buhay ng mga pangunahing bahagi ng reaktor. Ang paggamit ng tantalum carbide TaC coating ay upang malutas ang problema sa gilid at mapabuti ang kalidad ng paglaki ng kristal, at nalutas ng Semicera ang tantalum carbide coating technology (CVD), na umabot sa internasyonal na advanced na antas.
Matapos ang mga taon ng pag-unlad, nasakop ng Semicera ang teknolohiya ngCVD TaCsa magkasanib na pagsisikap ng departamento ng R&D. Ang mga depekto ay madaling mangyari sa proseso ng paglago ng SiC wafers, ngunit pagkatapos gamitinTaC, ang pagkakaiba ay makabuluhan. Nasa ibaba ang isang paghahambing ng mga wafer na may at walang TaC, pati na rin ang mga bahagi ng Simicera para sa solong paglaki ng kristal.
Ang mga pangunahing tampok ng TaC coated graphite guide rings ay kinabibilangan ng:
1. Mataas na temperatura na pagtutol: Ang TaC coating ay may mahusay na mataas na temperatura na katatagan at maaaring mapanatili ang katatagan sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura.
2. Wear resistance: Ang mataas na tigas ng tantalum carbide thin layer ay nagbibigay sa guide ring ng magandang wear resistance at nagpapahaba ng buhay ng serbisyo nito.
3. Katatagan ng kemikal: Ang TaC coating ay may mataas na katatagan laban sa kemikal na kaagnasan, na ginagawa itong angkop para sa mga aplikasyon sa ilang corrosive media.
4. Bawasan ang friction: Ang TaC coating ay maaaring epektibong mabawasan ang friction sa pagitan ng graphite guide ring at iba pang mga bahagi at mapabuti ang kahusayan ng mga mechanical seal.
mayroon at walang TaC
Pagkatapos gamitin ang TaC (kanan)
Bukod dito, ang Semicera'sMga produktong pinahiran ng TaCnagpapakita ng mas mahabang buhay ng serbisyo at mas mataas na paglaban sa mataas na temperatura kumpara saSiC coatings.Ang mga sukat sa laboratoryo ay nagpakita na ang amingTaC coatingsmaaaring patuloy na gumanap sa mga temperatura hanggang 2300 degrees Celsius para sa pinalawig na mga panahon. Nasa ibaba ang ilang halimbawa ng aming mga sample:
