Silicon sa Insulator Wafers

Maikling Paglalarawan:

Ang mga wafer ng Silicon-on-Insulator ng Semicera ay nagbibigay ng mga solusyon na may mataas na pagganap para sa mga advanced na aplikasyon ng semiconductor. Tamang-tama para sa MEMS, sensor, at microelectronics, ang mga wafer na ito ay nagbibigay ng mahusay na electrical isolation at mababang parasitic capacitance. Tinitiyak ng Semicera ang precision manufacturing, naghahatid ng pare-parehong kalidad para sa hanay ng mga makabagong teknolohiya. Inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.


Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Silicon sa Insulator Wafersmula sa Semicera ay idinisenyo upang matugunan ang lumalaking pangangailangan para sa mga high-performance na solusyon sa semiconductor. Ang aming mga SOI wafer ay nag-aalok ng mahusay na pagganap ng kuryente at pinababang kapasidad ng parasitic device, na ginagawa itong perpekto para sa mga advanced na application tulad ng mga MEMS device, sensor, at integrated circuit. Tinitiyak ng kadalubhasaan ng Semicera sa paggawa ng wafer na ang bawat isaSOI wafernagbibigay ng maaasahan at mataas na kalidad na mga resulta para sa iyong mga susunod na henerasyong pangangailangan sa teknolohiya.

Ang amingSilicon sa Insulator Wafersnag-aalok ng pinakamainam na balanse sa pagitan ng cost-effectiveness at performance. Dahil lalong nagiging mapagkumpitensya ang halaga ng soi wafer, malawakang ginagamit ang mga wafer na ito sa isang hanay ng mga industriya, kabilang ang microelectronics at optoelectronics. Ang proseso ng paggawa ng mataas na katumpakan ng Semicera ay ginagarantiyahan ang mahusay na pagbubuklod at pagkakapareho ng wafer, na ginagawang angkop ang mga ito para sa iba't ibang mga aplikasyon, mula sa mga wafer ng cavity SOI hanggang sa mga karaniwang silicon na wafer.

Mga Pangunahing Tampok:

Mataas na kalidad na mga wafer ng SOI na na-optimize para sa pagganap sa MEMS at iba pang mga application.

Competitive soi wafer cost para sa mga negosyong naghahanap ng mga advanced na solusyon nang hindi nakompromiso ang kalidad.

Tamang-tama para sa mga makabagong teknolohiya, na nag-aalok ng pinahusay na electrical isolation at kahusayan sa silicon sa mga insulator system.

Ang amingSilicon sa Insulator Wafersay ininhinyero upang magbigay ng mga solusyon na may mataas na pagganap, na sumusuporta sa susunod na alon ng pagbabago sa teknolohiyang semiconductor. Gumagawa ka man sa cavityMga wafer ng SOI, MEMS device, o silicon sa mga bahagi ng insulator, ang Semicera ay naghahatid ng mga wafer na nakakatugon sa pinakamataas na pamantayan sa industriya.

Mga bagay

Produksyon

Pananaliksik

Dummy

Mga Parameter ng Crystal

Polytype

4H

Error sa oryentasyon sa ibabaw

<11-20 >4±0.15°

Mga Parameter ng Elektrisidad

Dopant

n-type na Nitrogen

Resistivity

0.015-0.025ohm·cm

Mga Parameter ng Mekanikal

diameter

150.0±0.2mm

kapal

350±25 μm

Pangunahing patag na oryentasyon

[1-100]±5°

Pangunahing patag na haba

47.5±1.5mm

Pangalawang flat

wala

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

yumuko

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Kagaspangan sa harap(Si-face)(AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Istruktura

Densidad ng micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Mga dumi ng metal

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Kalidad sa Harap

harap

Si

Pang-ibabaw na tapusin

Si-face CMP

Mga particle

≤60ea/wafer (laki≥0.3μm)

NA

Mga gasgas

≤5ea/mm. Pinagsama-samang haba ≤Diameter

Pinagsama-samang haba≤2*Diameter

NA

Orange peel/pits/stains/striations/ cracks/contamination

wala

NA

Edge chips/indents/fracture/hex plates

wala

Mga lugar ng polytype

wala

Pinagsama-samang lugar≤20%

Pinagsama-samang lugar≤30%

Pagmarka ng laser sa harap

wala

Kalidad ng Bumalik

Back finish

C-face CMP

Mga gasgas

≤5ea/mm, Pinagsama-samang haba≤2*Diameter

NA

Mga depekto sa likod (mga edge chips/indents)

wala

Kagaspang sa likod

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Pagmarka ng likod ng laser

1 mm (mula sa itaas na gilid)

gilid

gilid

Chamfer

Packaging

Packaging

Epi-ready na may vacuum packaging

Multi-wafer cassette packaging

*Mga Tala: Ang ibig sabihin ng "NA" ay walang kahilingan Ang mga bagay na hindi nabanggit ay maaaring sumangguni sa SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Nakaraan:
  • Susunod: