Sa mga kagamitan sa pag-ukit ng plasma, ang mga ceramic na bahagi ay gumaganap ng isang mahalagang papel, kabilang ang singsing na nakatuon. Ang focus ring, na inilagay sa paligid ng wafer at sa direktang pakikipag-ugnayan dito, ay mahalaga para sa pagtutok ng plasma sa wafer sa pamamagitan ng paglalagay ng boltahe sa singsing. Pinahuhusay nito ang un...
Magbasa pa