Ang proseso ng dry etching ay karaniwang binubuo ng apat na pangunahing estado: bago ang pag-ukit, bahagyang pag-ukit, pag-ukit lamang, at pag-ukit nang labis. Ang mga pangunahing katangian ay ang rate ng etching, selectivity, kritikal na dimensyon, pagkakapareho, at endpoint detection. Larawan 1 Bago ang pag-ukit Larawan 2 Ang bahagyang pag-ukit Figure...
Magbasa pa