Ang harap na dulo ng linya ng produksyon ay tulad ng paglalagay ng pundasyon at pagtatayo ng mga dingding ng isang bahay. Sa paggawa ng semiconductor, ang yugtong ito ay nagsasangkot ng paglikha ng mga pangunahing istruktura at transistor sa isang silicon na wafer.
Mga Pangunahing Hakbang ng FEOL:
1. Paglilinis:Magsimula sa isang manipis na silicon na wafer at linisin ito upang alisin ang anumang mga dumi.
2. Oksihenasyon:Palakihin ang isang layer ng silicon dioxide sa wafer upang ihiwalay ang iba't ibang bahagi ng chip.
3. Photolithography:Gumamit ng photolithography upang mag-ukit ng mga pattern sa wafer, katulad ng pagguhit ng mga blueprint na may liwanag.
4. Pag-ukit:Tanggalin ang hindi gustong silicon dioxide upang ipakita ang mga gustong pattern.
5. Doping:Ipasok ang mga impurities sa silicon upang baguhin ang mga electrical properties nito, na lumilikha ng mga transistor, ang pangunahing mga bloke ng gusali ng anumang chip.
Gitnang Katapusan ng Linya (MEOL): Pag-uugnay sa mga Dots
Ang gitnang dulo ng linya ng produksyon ay tulad ng pag-install ng mga kable at pagtutubero sa isang bahay. Ang yugtong ito ay nakatuon sa pagtatatag ng mga koneksyon sa pagitan ng mga transistor na nilikha sa yugto ng FEOL.
Mga Pangunahing Hakbang ng MEOL:
1. Dielectric Deposition:Ilagay ang mga insulating layer (tinatawag na dielectrics) upang protektahan ang mga transistor.
2. Contact Formation:Bumuo ng mga contact upang ikonekta ang mga transistor sa isa't isa at sa labas ng mundo.
3. Interconnect:Magdagdag ng mga metal na layer para gumawa ng mga pathway para sa mga electrical signal, katulad ng pag-wire sa isang bahay para matiyak ang tuluy-tuloy na power at daloy ng data.
Back End of Line (BEOL): Finishing Touches
-
Ang likod na dulo ng linya ng produksyon ay tulad ng pagdaragdag ng mga huling pagpindot sa isang bahay—pag-install ng mga fixture, pagpipinta, at pagtiyak na gumagana ang lahat. Sa paggawa ng semiconductor, ang yugtong ito ay nagsasangkot ng pagdaragdag ng mga huling layer at paghahanda ng chip para sa packaging.
Mga Pangunahing Hakbang ng BEOL:
1. Karagdagang Mga Layer ng Metal:Magdagdag ng maramihang mga layer ng metal upang mapahusay ang interconnectivity, tinitiyak na ang chip ay maaaring humawak ng mga kumplikadong gawain at mataas na bilis.
2. Pasivation:Maglagay ng mga protective layer upang protektahan ang chip mula sa pinsala sa kapaligiran.
3. Pagsubok:Ipasa ang chip sa mahigpit na pagsubok upang matiyak na natutugunan nito ang lahat ng mga pagtutukoy.
4. Dicing:Gupitin ang wafer sa mga indibidwal na chip, ang bawat isa ay handa na para sa packaging at gamitin sa mga elektronikong aparato.
Oras ng post: Hul-08-2024