Application ng Silicon Carbide Ceramics sa Semiconductor Field

Semiconductor:

Ang industriya ng semiconductor ay sumusunod sa batas pang-industriya ng "isang henerasyon ng teknolohiya, isang henerasyon ng proseso, at isang henerasyon ng kagamitan", at ang pag-upgrade at pag-ulit ng mga kagamitang semiconductor ay higit na nakasalalay sa teknolohikal na tagumpay ng mga bahagi ng katumpakan. Kabilang sa mga ito, ang mga precision ceramic na bahagi ay ang pinakakinakatawan na semiconductor precision parts na materyales, na may mahalagang aplikasyon sa isang serye ng mga pangunahing link sa pagmamanupaktura ng semiconductor tulad ng chemical vapor deposition, physical vapor deposition, ion implantation, at etching. Gaya ng mga bearings, guide rails, linings, electrostatic chucks, mechanical handling arms, atbp. Lalo na sa loob ng equipment cavity, ito ay gumaganap ng papel ng suporta, proteksyon, at diversion.

640

Mula noong 2023, ang Netherlands at Japan ay sunud-sunod ding naglabas ng mga bagong regulasyon o foreign trade decrees sa kontrol, pagdaragdag ng mga regulasyon sa lisensya sa pag-export para sa mga kagamitang semiconductor kabilang ang mga makina ng lithography, at ang trend ng semiconductor anti-globalization ay unti-unting umusbong. Ang kahalagahan ng independiyenteng kontrol ng supply chain ay lalong naging prominente. Nahaharap sa pangangailangan para sa lokalisasyon ng mga bahagi ng kagamitan sa semiconductor, ang mga domestic na kumpanya ay aktibong nagtataguyod ng pag-unlad ng industriya. Napagtanto ng Zhongci Electronics ang lokalisasyon ng mga high-tech na precision parts tulad ng heating plates at electrostatic chucks, paglutas sa problemang "bottleneck" ng domestic semiconductor equipment industry; Ang Dezhi New Materials, isang nangungunang domestic supplier ng SiC coated graphite base at SiC etching rings, ay matagumpay na nakakumpleto ng financing na 100 milyong yuan, atbp…..
High-conductivity silicon nitride ceramic substrates:

Ang Silicon nitride ceramic substrates ay pangunahing ginagamit sa mga power unit, semiconductor device at inverters ng mga purong electric vehicle (EVs) at hybrid electric vehicles (HEVs), at may malaking potensyal sa merkado at mga prospect ng aplikasyon.

640 (1)

Sa kasalukuyan, ang mataas na thermal conductivity na silicon nitride ceramic substrate na materyales para sa mga komersyal na aplikasyon ay nangangailangan ng thermal conductivity ≥85 W/(m·K), bending strength ≥650MPa, at fracture toughness 5~7MPa·m1/2. Ang mga kumpanyang tunay na may kakayahang gumawa ng mass high thermal conductivity silicon nitride ceramic substrates ay pangunahing Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa at Japan Fine Ceramics.

Ang lokal na pananaliksik sa silicon nitride ceramic substrate na materyales ay nakagawa din ng ilang pag-unlad. Ang thermal conductivity ng silicon nitride ceramic substrate na inihanda ng tape-casting process ng Beijing Branch ng Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. ay 100 W/(m·K); Matagumpay na naihanda ng Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. ang isang silicon nitride ceramic substrate na may baluktot na lakas na 700-800MPa, isang fracture toughness ≥8MPa·m1/2, at isang thermal conductivity ≥80W/(m·K) sa pamamagitan ng pag-optimize sa paraan at proseso ng sintering.


Oras ng post: Okt-29-2024