Isostatic PECVD Graphite Boat

Maikling Paglalarawan:

Ang Isostatic PECVD graphite boat ay malawakang ginagamit sa iba't ibang link ng semiconductor manufacturing, tulad ng polysilicon film deposition, oxide film deposition, nitride film deposition, atbp. Ang mahusay na pagganap nito ay ginagawa itong perpektong wafer carrier sa proseso ng PECVD.

Magpadala ng email sa amin

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang SEMICERA isostatic PECVD graphite boat ay isang high-purity, high-density graphite na produkto na idinisenyo para sa suporta sa wafer sa proseso ng PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Gumagamit ang SEMICERA ng advanced na isostatic pressing technology upang matiyak na ang graphite boat ay may mahusay na mataas na temperatura resistance, corrosion resistance, dimensional stability at magandang thermal conductivity, na isang kailangang-kailangan na consumable sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.

Ang SEMICERA isostatic PECVD graphite boat ay may mga sumusunod na pakinabang:

▪ Mataas na kadalisayan: Ang materyal na grapayt ay may mataas na kadalisayan at mababang nilalaman ng karumihan upang maiwasan ang kontaminasyon ng ibabaw ng wafer.

▪ Mataas na densidad: Mataas na densidad, mataas na lakas ng makina, makatiis sa mataas na temperatura at mataas na vacuum na kapaligiran.

▪ Magandang dimensional na katatagan: Maliit na dimensional na pagbabago sa mataas na temperatura upang matiyak ang katatagan ng proseso.

▪ Napakahusay na thermal conductivity: Mabisang naglilipat ng init upang maiwasan ang overheating ng wafer.

▪ Malakas na lumalaban sa kaagnasan: May kakayahang labanan ang pagguho ng iba't ibang mga kinakaing gas at plasma.

Parameter ng pagganap	semicera	SGL R6510	Parameter ng pagganap
Bulk density (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Lakas ng baluktot (MPa)	63	60	49
Lakas ng compressive (MPa)	135	130	103
Shore Hardness (HS)	70	64	60
Coefficient ng thermal expansion（10-6/K）	85	105	130
Coefficient ng thermal expansion（10-6/K）	5.85	4.2	5.0
Resistivity (μΩm)	11-13	13	10

Mga kalamangan ng pagpili sa amin:
▪ Pagpili ng materyal: Ang mga materyal na grapayt na may mataas na kadalisayan ay ginagamit upang matiyak ang kalidad ng produkto.
▪ Teknolohiya sa pagpoproseso: Ang Isostatic pressing ay ginagamit upang matiyak ang density at pagkakapareho ng produkto.
▪ Pag-customize ng laki: Ang mga graphite na bangka na may iba't ibang laki at hugis ay maaaring i-customize ayon sa mga pangangailangan ng customer.
▪ Paggamot sa ibabaw: Ang iba't ibang paraan ng paggamot sa ibabaw ay ibinibigay, tulad ng patong na silicon carbide, boron nitride, atbp., upang matugunan ang iba't ibang mga kinakailangan sa proseso.