Mataas na kadalisayan ng SiC Carrier/Susceptor

High purity SiC Carrier/Susceptor Itinatampok na Larawan

Maikling Paglalarawan:

Silicon carbide bearing disc ay kilala rin bilang SIC tray, silicon carbide etching disc, ICP etching disc. Silicon carbide tray para sa LED etching (SiC tray) φ600mm ay isang espesyal na accessory para sa malalim na silicon etching (ICP etching machine).

Magpadala ng email sa amin

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Paglalarawan

Ang Silicon carbide ceramics ay may mahusay na mekanikal na katangian sa temperatura ng silid, tulad ng mataas na lakas, mataas na tigas, mataas na elastic modulus, atbp., Mayroon din itong mahusay na mataas na temperatura na katatagan tulad ng mataas na thermal conductivity, mababang thermal expansion coefficient, at mahusay na tiyak na stiffness at optical. pagganap ng pagproseso.
Ang mga ito ay partikular na angkop para sa paggawa ng precision ceramic parts para sa integrated circuit equipments gaya ng lithography machine, pangunahing ginagamit sa paggawa ng SiC carrier/susceptor, SiC wafer boat, sucking disc, water cooling plate, precision measuring reflector, grating at iba pang ceramic structural parts.

carrier2

carrier3

carrier4

Mga kalamangan

Mataas na temperatura pagtutol: normal na paggamit sa 1800 ℃
Mataas na thermal conductivity: katumbas ng graphite material
Mataas na tigas: ang katigasan ay pangalawa lamang sa brilyante, boron nitride
Corrosion resistance: ang malakas na acid at alkali ay walang kaagnasan dito, ang corrosion resistance ay mas mahusay kaysa sa tungsten carbide at alumina
Banayad na timbang: mababang density, malapit sa aluminyo
Walang pagpapapangit: mababang koepisyent ng thermal expansion
Thermal shock resistance: maaari itong makatiis ng matalim na pagbabago sa temperatura, lumalaban sa thermal shock, at may matatag na pagganap
Ang Silicon carbide carrier tulad ng sic etching carrier, ICP etching susceptor, ay malawakang ginagamit sa semiconductor CVD, vacuum sputtering atbp. Maaari kaming magbigay sa mga customer ng mga customized na wafer carrier ng silicon at silicon carbide na materyales upang matugunan ang iba't ibang aplikasyon.

Mga kalamangan

Ari-arian	Halaga	Pamamaraan
Densidad	3.21 g/cc	Sink-float at dimensyon
Tiyak na init	0.66 J/g °K	Pulsed laser flash
Flexural na lakas	450 MPa560 MPa	4 point bend, RT4 point bend, 1300°
Katigasan ng bali	2.94 MPa m1/2	Microindentation
Katigasan	2800	Vicker's, 500g load
Elastic ModulusYoung's Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt bend, RT4 pt bend, 1300 °C
Laki ng butil	2 – 10 µm	SEM

Profile ng Kumpanya

Ang WeiTai Energy Technology Co., Ltd. ay isang nangungunang supplier ng advanced na semiconductor ceramics at ang tanging tagagawa sa China na sabay na makakapagbigay ng high-purity silicon carbide ceramic (lalo na ang Recrystallized SiC) at CVD SiC coating. Bilang karagdagan, ang aming kumpanya ay nakatuon din sa mga ceramic field tulad ng alumina, aluminum nitride, zirconia, at silicon nitride, atbp.

Kabilang sa aming mga pangunahing produkto ang: silicon carbide etching disc, silicon carbide boat tow, silicon carbide wafer boat(Photovoltaic&Semiconductor), silicon carbide furnace tube, silicon carbide cantilever paddle, silicon carbide chucks, silicon carbide beam, pati na rin ang CVD SiC coating at TaC patong. Ang mga produktong pangunahing ginagamit sa mga industriyang semiconductor at photovoltaic, tulad ng mga kagamitan para sa paglaki ng kristal, epitaxy, etching, packaging, coating at diffusion furnaces, atbp.
tungkol sa (2)