Ipinagmamalaki ni Semicera na itanghal angGa2O3substrate, isang cutting-edge na materyal na nakahanda upang baguhin ang power electronics at optoelectronics.Gallium Oxide (Ga2O3) mga substrateay kilala sa kanilang ultra-wide bandgap, na ginagawang perpekto para sa mga high-power at high-frequency na device.
Mga Pangunahing Tampok:
• Ultra-Wide Bandgap: Ga2Nag-aalok ang O3 ng bandgap na humigit-kumulang 4.8 eV, na makabuluhang nagpapahusay sa kakayahang pangasiwaan ang matataas na boltahe at temperatura kumpara sa mga tradisyonal na materyales tulad ng Silicon at GaN.
• Mataas na Breakdown Voltage: Sa isang natatanging breakdown field, angGa2O3substrateay perpekto para sa mga device na nangangailangan ng mataas na boltahe na operasyon, na tinitiyak ang higit na kahusayan at pagiging maaasahan.
• Thermal Stability: Ang superyor na thermal stability ng materyal ay ginagawa itong angkop para sa mga aplikasyon sa matinding kapaligiran, na nagpapanatili ng pagganap kahit sa ilalim ng malupit na mga kondisyon.
• Mga Versatile na Application: Tamang-tama para sa paggamit sa high-efficiency power transistors, UV optoelectronic device, at higit pa, na nagbibigay ng matatag na pundasyon para sa mga advanced na electronic system.
Damhin ang hinaharap ng semiconductor na teknolohiya sa Semicera'sGa2O3substrate. Idinisenyo upang matugunan ang lumalaking pangangailangan ng high-power at high-frequency na electronics, ang substrate na ito ay nagtatakda ng bagong pamantayan para sa pagganap at tibay. Pagkatiwalaan ang Semicera na maghatid ng mga makabagong solusyon para sa iyong mga pinaka-mapanghamong application.
| Mga bagay | Produksyon | Pananaliksik | Dummy |
| Mga Parameter ng Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Error sa oryentasyon sa ibabaw | <11-20 >4±0.15° | ||
| Mga Parameter ng Elektrisidad | |||
| Dopant | n-type na Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mga Parameter ng Mekanikal | |||
| diameter | 150.0±0.2mm | ||
| kapal | 350±25 μm | ||
| Pangunahing patag na oryentasyon | [1-100]±5° | ||
| Pangunahing patag na haba | 47.5±1.5mm | ||
| Pangalawang flat | wala | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| yumuko | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kagaspangan sa harap(Si-face)(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Istruktura | |||
| Densidad ng micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Mga dumi ng metal | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kalidad sa Harap | |||
| harap | Si | ||
| Pang-ibabaw na tapusin | Si-face CMP | ||
| Mga particle | ≤60ea/wafer (laki≥0.3μm) | NA | |
| Mga gasgas | ≤5ea/mm. Pinagsama-samang haba ≤Diameter | Pinagsama-samang haba≤2*Diameter | NA |
| Orange peel/pits/stains/striations/ cracks/contamination | wala | NA | |
| Edge chips/indents/fracture/hex plates | wala | ||
| Mga lugar ng polytype | wala | Pinagsama-samang lugar≤20% | Pinagsama-samang lugar≤30% |
| Pagmarka ng laser sa harap | wala | ||
| Kalidad ng Bumalik | |||
| Back finish | C-face CMP | ||
| Mga gasgas | ≤5ea/mm, Pinagsama-samang haba≤2*Diameter | NA | |
| Mga depekto sa likod (mga edge chips/indents) | wala | ||
| Kagaspang sa likod | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pagmarka ng likod ng laser | 1 mm (mula sa itaas na gilid) | ||
| gilid | |||
| gilid | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-ready na may vacuum packaging Multi-wafer cassette packaging | ||
| *Mga Tala: Ang ibig sabihin ng "NA" ay walang kahilingan Ang mga bagay na hindi nabanggit ay maaaring sumangguni sa SEMI-STD. | |||
