Semicerabuong pagmamalaki na nag-aalokGa2O3Epitaxy, isang makabagong solusyon na idinisenyo upang itulak ang mga hangganan ng power electronics at optoelectronics. Ang advanced na teknolohiyang epitaxial na ito ay gumagamit ng mga natatanging katangian ng Gallium Oxide (Ga2O3) upang maghatid ng higit na mahusay na pagganap sa hinihingi na mga aplikasyon.
Mga Pangunahing Tampok:
• Pambihirang Malapad na Bandgap: Ga2O3Epitaxynagtatampok ng ultra-wide bandgap, na nagbibigay-daan para sa mas matataas na breakdown voltage at mahusay na operasyon sa mga high-power na kapaligiran.
•Mataas na Thermal Conductivity: Ang epitaxial layer ay nagbibigay ng mahusay na thermal conductivity, tinitiyak ang matatag na operasyon kahit na sa ilalim ng mataas na temperatura, na ginagawa itong perpekto para sa mga high-frequency na device.
•Superior na Kalidad ng Materyal: Makamit ang mataas na kalidad ng kristal na may kaunting mga depekto, tinitiyak ang pinakamainam na pagganap ng device at mahabang buhay, lalo na sa mga kritikal na aplikasyon gaya ng mga power transistor at UV detector.
•Kakayahan sa mga Aplikasyon: Ganap na angkop para sa power electronics, RF application, at optoelectronics, na nagbibigay ng maaasahang pundasyon para sa mga susunod na henerasyong semiconductor device.
Tuklasin ang potensyal ngGa2O3Epitaxygamit ang mga makabagong solusyon ng Semicera. Ang aming mga epitaxial na produkto ay idinisenyo upang matugunan ang pinakamataas na pamantayan ng kalidad at pagganap, na nagbibigay-daan sa iyong mga device na gumana nang may pinakamataas na kahusayan at pagiging maaasahan. Piliin ang Semicera para sa makabagong teknolohiyang semiconductor.
| Mga bagay | Produksyon | Pananaliksik | Dummy |
| Mga Parameter ng Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Error sa oryentasyon sa ibabaw | <11-20 >4±0.15° | ||
| Mga Parameter ng Elektrisidad | |||
| Dopant | n-type na Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mga Parameter ng Mekanikal | |||
| diameter | 150.0±0.2mm | ||
| kapal | 350±25 μm | ||
| Pangunahing patag na oryentasyon | [1-100]±5° | ||
| Pangunahing patag na haba | 47.5±1.5mm | ||
| Pangalawang flat | wala | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| yumuko | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kagaspangan sa harap(Si-face)(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Istruktura | |||
| Densidad ng micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Mga dumi ng metal | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kalidad sa Harap | |||
| harap | Si | ||
| Pang-ibabaw na tapusin | Si-face CMP | ||
| Mga particle | ≤60ea/wafer (laki≥0.3μm) | NA | |
| Mga gasgas | ≤5ea/mm. Pinagsama-samang haba ≤Diameter | Pinagsama-samang haba≤2*Diameter | NA |
| Orange peel/pits/stains/striations/ cracks/contamination | wala | NA | |
| Edge chips/indents/fracture/hex plates | wala | ||
| Mga lugar ng polytype | wala | Pinagsama-samang lugar≤20% | Pinagsama-samang lugar≤30% |
| Pagmarka ng laser sa harap | wala | ||
| Kalidad ng Bumalik | |||
| Back finish | C-face CMP | ||
| Mga gasgas | ≤5ea/mm, Pinagsama-samang haba≤2*Diameter | NA | |
| Mga depekto sa likod (mga edge chips/indents) | wala | ||
| Kagaspang sa likod | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pagmarka ng likod ng laser | 1 mm (mula sa itaas na gilid) | ||
| gilid | |||
| gilid | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-ready na may vacuum packaging Multi-wafer cassette packaging | ||
| *Mga Tala: Ang ibig sabihin ng "NA" ay walang kahilingan Ang mga bagay na hindi nabanggit ay maaaring sumangguni sa SEMI-STD. | |||
