RTPMga singsing ng CVD SiCay malawakang ginagamit sa pang-industriya at pang-agham na larangan sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran. Ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa paggawa ng semiconductor, optoelectronics, precision machinery at industriya ng kemikal. Kasama sa mga partikular na application ang:
1. Paggawa ng semiconductor:RTP CVD SiC ringsay maaaring gamitin para sa pagpainit at paglamig ng mga kagamitang semiconductor, na nagbibigay ng matatag na kontrol sa temperatura at tinitiyak ang katumpakan at pagkakapare-pareho ng proseso.
2. Optoelectronics: Dahil sa mahusay na thermal conductivity at mataas na temperatura resistance, RTPMga singsing ng CVD SiCay maaaring gamitin bilang suporta at init dissipation na materyales para sa mga laser, fiber optic na kagamitan sa komunikasyon at optical na bahagi.
3. Precision na makinarya: RTP CVD SiC rings ay maaaring gamitin para sa precision instruments at equipment sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran, tulad ng mga high temperature furnace, vacuum device at chemical reactors.
4. Industriya ng kemikal: Dahil sa resistensya ng kaagnasan at katatagan ng kemikal, ang mga singsing na RTP CVD SiC ay maaaring gamitin sa mga lalagyan, tubo at reaktor sa mga reaksiyong kemikal at mga prosesong catalytic.
Sistema ng Epi
Sistema ng RTP
Sistema ng CVD
Pagganap ng produkto:
1. Matugunan ang proseso sa ibaba 28nm
2. Super corrosion resistance
3. Super malinis na pagganap
4. Super tigas
5. Mataas na density
6. Mataas na temperatura pagtutol
7. Magsuot ng panlaban
Application ng produkto:
Ang mga materyales ng Silicon carbide ay may mga katangian ng mataas na tigas, paglaban sa pagsusuot, paglaban sa kaagnasan at katatagan ng mataas na temperatura. Ang mga produktong may mahusay na komprehensibong pagganap ay malawakang ginagamit sa dry etching at mga proseso ng TF/Diffusion.
Pagganap ng produkto:
1. Matugunan ang proseso sa ibaba 28nm
2. Super corrosion resistance
3. Super malinis na pagganap
4. Super tigas
5. Mataas na density
6. Mataas na temperatura pagtutol
7. Magsuot ng panlaban
Pag-unlad ng pinagsama-samang proseso:
Graphite +Sic Coating
Solide CvD sic
Sintered SiC+CVD
SicSintered SiC
Pag-unlad ng maramihang uri ng produkto:
singsing
mesa
Susceptor
Ulo ng shower