Bulk CVD SiC Ring

Maikling Paglalarawan:

Ang bulk CVD SiC rings ay gumagamit ng silicon source gas (gaya ng silicon hydride) at carbon source gas (gaya ng methane) bilang mga hilaw na materyales, na tumutugon sa mataas na temperatura upang magdeposito ng malalaking sukat na SiC na materyales sa isang substrate o amag. Ang prosesong ito ay nagpapahintulot sa SiC na pantay na maideposito sa isang malaking lugar, na bumubuo ng isang malakas at pare-parehong istraktura ng singsing.

 


Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Bakit Silicon Carbide Etching Ring ?

RTPMga singsing ng CVD SiCay malawakang ginagamit sa pang-industriya at pang-agham na larangan sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran. Ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa paggawa ng semiconductor, optoelectronics, precision machinery at industriya ng kemikal. Kasama sa mga partikular na application ang:

1. Paggawa ng semiconductor:RTP CVD SiC ringsay maaaring gamitin para sa pagpainit at paglamig ng mga kagamitang semiconductor, na nagbibigay ng matatag na kontrol sa temperatura at tinitiyak ang katumpakan at pagkakapare-pareho ng proseso.

2. Optoelectronics: Dahil sa mahusay na thermal conductivity at mataas na temperatura resistance, RTPMga singsing ng CVD SiCay maaaring gamitin bilang suporta at init dissipation na materyales para sa mga laser, fiber optic na kagamitan sa komunikasyon at optical na bahagi.

3. Precision na makinarya: RTP CVD SiC rings ay maaaring gamitin para sa precision instruments at equipment sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran, tulad ng mga high temperature furnace, vacuum device at chemical reactors.

4. Industriya ng kemikal: Dahil sa resistensya ng kaagnasan at katatagan ng kemikal, ang mga singsing na RTP CVD SiC ay maaaring gamitin sa mga lalagyan, tubo at reaktor sa mga reaksiyong kemikal at mga prosesong catalytic.

 

Sistema ng Epi

Sistema ng Epi

Sistema ng RTP

Sistema ng RTP

Sistema ng CVD

Sistema ng CVD

Pagganap ng produkto:

1. Matugunan ang proseso sa ibaba 28nm

2. Super corrosion resistance

3. Super malinis na pagganap

4. Super tigas

5. Mataas na density

6. Mataas na temperatura pagtutol

7. Magsuot ng panlaban

kagamitan sa paggawa ng kuwarts 4

Application ng produkto:

Ang mga materyales ng Silicon carbide ay may mga katangian ng mataas na tigas, paglaban sa pagsusuot, paglaban sa kaagnasan at katatagan ng mataas na temperatura. Ang mga produktong may mahusay na komprehensibong pagganap ay malawakang ginagamit sa dry etching at mga proseso ng TF/Diffusion.

Pagganap ng produkto:

1. Matugunan ang proseso sa ibaba 28nm

2. Super corrosion resistance

3. Super malinis na pagganap

4. Super tigas

5. Mataas na density

6. Mataas na temperatura pagtutol

7. Magsuot ng panlaban

微信截图_20241018182920
微信截图_20241018182909

Pag-unlad ng pinagsama-samang proseso:

Graphite +Sic Coating

Solide CvD sic

Sintered SiC+CVD

SicSintered SiC

Pag-unlad ng maramihang uri ng produkto:

singsing

mesa

Susceptor

Ulo ng shower

Lugar ng trabaho sa Semicera
Lugar ng trabaho sa Semicera 2
Semicera Ware House
Makina ng kagamitan
Pagproseso ng CNN, paglilinis ng kemikal, patong ng CVD
Ang aming serbisyo

  • Nakaraan:
  • Susunod: