4 Inch SiC Substrate N-type

Maikling Paglalarawan:

Nag-aalok ang Semicera ng malawak na hanay ng 4H-8H SiC wafers. Sa loob ng maraming taon, naging tagagawa at tagatustos kami ng mga produkto sa mga industriyang semiconductor at photovoltaic. Kabilang sa aming mga pangunahing produkto ang: Silicon carbide etch plates, silicon carbide boat trailers, silicon carbide wafer boats (PV & Semiconductor), silicon carbide furnace tubes, silicon carbide cantilever paddles, silicon carbide chucks, silicon carbide beams, pati na rin ang CVD SiC coatings at Mga coatings ng TaC. Sinasaklaw ang karamihan sa mga merkado sa Europa at Amerika. Inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng email sa amin

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Silicon carbide (SiC) single crystal material ay may malaking band gap width (~Si 3 beses), mataas na thermal conductivity (~Si 3.3 beses o GaAs 10 beses), mataas na electron saturation migration rate (~Si 2.5 times), high breakdown electric field (~Si 10 beses o GaAs 5 beses) at iba pang natitirang katangian.

Ang enerhiya ng Semicera ay maaaring magbigay sa mga customer ng mataas na kalidad na Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) na silicon carbide substrate; Bilang karagdagan, maaari kaming magbigay sa mga customer ng homogenous at heterogenous na silicon carbide epitaxial sheet; Maaari rin naming i-customize ang epitaxial sheet ayon sa mga partikular na pangangailangan ng mga customer, at walang minimum na dami ng order.

Mga bagay	Produksyon	Pananaliksik	Dummy
Mga Parameter ng Crystal
Polytype	4H
Error sa oryentasyon sa ibabaw	<11-20 >4±0.15°
Mga Parameter ng Elektrisidad
Dopant	n-type na Nitrogen
Resistivity	0.015-0.025ohm·cm
Mga Parameter ng Mekanikal
diameter	99.5 - 100mm
kapal	350±25 μm
Pangunahing patag na oryentasyon	[1-100]±5°
Pangunahing patag na haba	32.5±1.5mm
Pangalawang patag na posisyon	90° CW mula sa pangunahing flat ±5°. nakataas ang mukha ng silikon
Pangalawang patag na haba	18±1.5mm
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤20 μm
LTV	≤2 μm(5mm*5mm)	≤5 μm(5mm*5mm)	NA
yumuko	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Warp	≤20 μm	≤45 μm	≤50 μm
Kagaspangan sa harap(Si-face)(AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Istruktura
Densidad ng micropipe	≤1 ea/cm2	≤5 ea/cm2	≤10 ea/cm2
Mga dumi ng metal	≤5E10atoms/cm2		NA
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	NA
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	NA
Kalidad sa Harap
harap	Si
Pang-ibabaw na tapusin	Si-face CMP
Mga particle	≤60ea/wafer (laki≥0.3μm)	NA
Mga gasgas	≤2ea/mm. Pinagsama-samang haba ≤Diameter	Pinagsama-samang haba≤2*Diameter	NA
Orange peel/pits/stains/striations/ cracks/contamination	wala		NA
Edge chips/indents/fracture/hex plates	wala		NA
Mga lugar ng polytype	wala	Pinagsama-samang lugar≤20%	Pinagsama-samang lugar≤30%
Pagmarka ng laser sa harap	wala
Kalidad ng Bumalik
Back finish	C-face CMP
Mga gasgas	≤5ea/mm, Pinagsama-samang haba≤2*Diameter	NA
Mga depekto sa likod (mga edge chips/indents)	wala
Kagaspang sa likod	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Pagmarka ng likod ng laser	1 mm (mula sa itaas na gilid)
gilid
gilid	Chamfer
Packaging
Packaging	Ang panloob na bag ay puno ng nitrogen at ang panlabas na bag ay vacuumed. Multi-wafer cassette, epi-ready.
*Mga Tala: Ang ibig sabihin ng "NA" ay walang kahilingan Ang mga bagay na hindi nabanggit ay maaaring sumangguni sa SEMI-STD.