4 Inch High Purity Semi-Insulating HPSI SiC Double-side Polished Wafer Substrate

Maikling Paglalarawan:

Ang Semicera's 4 Inch High Purity Semi-Insulating (HPSI) SiC Double-side Polished Wafer Substrates ay precision-engineered para sa superior electronic performance. Ang mga wafer na ito ay nagbibigay ng mahusay na thermal conductivity at electrical insulation, perpekto para sa mga advanced na semiconductor application. Magtiwala sa Semicera para sa walang kapantay na kalidad at pagbabago sa teknolohiya ng wafer.


Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang Semicera's 4 Inch High Purity Semi-Insulating (HPSI) SiC Double-side Polished Wafer Substrates ay ginawa upang matugunan ang mga hinihingi ng industriya ng semiconductor. Idinisenyo ang mga substrate na ito na may pambihirang flatness at purity, na nag-aalok ng pinakamainam na platform para sa mga cutting-edge na electronic device.

Ang mga HPSI SiC wafer na ito ay nakikilala sa pamamagitan ng kanilang superior thermal conductivity at electrical insulation properties, na ginagawa itong isang mahusay na pagpipilian para sa high-frequency at high-power na mga application. Tinitiyak ng double-side polishing process ang minimal na pagkamagaspang sa ibabaw, na mahalaga para sa pagpapahusay ng performance at mahabang buhay ng device.

Ang mataas na kadalisayan ng Semicera's SiC wafers ay nagpapaliit ng mga depekto at dumi, na humahantong sa mas mataas na mga rate ng ani at pagiging maaasahan ng device. Ang mga substrate na ito ay angkop para sa isang malawak na hanay ng mga application, kabilang ang mga microwave device, power electronics, at LED na teknolohiya, kung saan ang katumpakan at tibay ay mahalaga.

Sa pagtutok sa inobasyon at kalidad, ginagamit ng Semicera ang mga advanced na diskarte sa pagmamanupaktura upang makagawa ng mga wafer na nakakatugon sa mahigpit na mga kinakailangan ng modernong electronics. Ang double-sided polishing ay hindi lamang nagpapabuti sa mekanikal na lakas ngunit pinapadali din ang mas mahusay na pagsasama sa iba pang mga semiconductor na materyales.

Sa pamamagitan ng pagpili ng 4 Inch High Purity Semi-Insulating HPSI SiC Double-side Polished Wafer Substrates ng Semicera, maaaring gamitin ng mga manufacturer ang mga benepisyo ng pinahusay na thermal management at electrical insulation, na nagbibigay-daan para sa pagbuo ng mas mahusay at makapangyarihang mga electronic device. Patuloy na pinamumunuan ng Semicera ang industriya kasama ang pangako nito sa kalidad at pag-unlad ng teknolohiya.

Mga bagay

Produksyon

Pananaliksik

Dummy

Mga Parameter ng Crystal

Polytype

4H

Error sa oryentasyon sa ibabaw

<11-20 >4±0.15°

Mga Parameter ng Elektrisidad

Dopant

n-type na Nitrogen

Resistivity

0.015-0.025ohm·cm

Mga Parameter ng Mekanikal

diameter

150.0±0.2mm

kapal

350±25 μm

Pangunahing patag na oryentasyon

[1-100]±5°

Pangunahing patag na haba

47.5±1.5mm

Pangalawang flat

wala

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

yumuko

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Kagaspangan sa harap(Si-face)(AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Istruktura

Densidad ng micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Mga dumi ng metal

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Kalidad sa Harap

harap

Si

Pang-ibabaw na tapusin

Si-face CMP

Mga particle

≤60ea/wafer (laki≥0.3μm)

NA

Mga gasgas

≤5ea/mm. Pinagsama-samang haba ≤Diameter

Pinagsama-samang haba≤2*Diameter

NA

Orange peel/pits/stains/striations/ cracks/contamination

wala

NA

Edge chips/indents/fracture/hex plates

wala

Mga lugar ng polytype

wala

Pinagsama-samang lugar≤20%

Pinagsama-samang lugar≤30%

Pagmarka ng laser sa harap

wala

Kalidad ng Bumalik

Back finish

C-face CMP

Mga gasgas

≤5ea/mm, Pinagsama-samang haba≤2*Diameter

NA

Mga depekto sa likod (mga edge chips/indents)

wala

Kagaspang sa likod

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Pagmarka ng likod ng laser

1 mm (mula sa itaas na gilid)

gilid

gilid

Chamfer

Packaging

Packaging

Epi-ready na may vacuum packaging

Multi-wafer cassette packaging

*Mga Tala: Ang ibig sabihin ng "NA" ay walang kahilingan Ang mga bagay na hindi nabanggit ay maaaring sumangguni sa SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Nakaraan:
  • Susunod: