kay Semicera10x10mm Nonpolar M-plane Aluminum Substrateay maingat na idinisenyo upang matugunan ang mga hinihinging pangangailangan ng mga advanced na optoelectronic na aplikasyon. Nagtatampok ang substrate na ito ng nonpolar M-plane orientation, na kritikal para sa pagbabawas ng mga epekto ng polarization sa mga device gaya ng mga LED at laser diode, na humahantong sa pinahusay na pagganap at kahusayan.
Ang10x10mm Nonpolar M-plane Aluminum Substrateay ginawa na may pambihirang mala-kristal na kalidad, na tinitiyak ang kaunting mga depekto na densidad at superyor na integridad ng istruktura. Ginagawa nitong perpektong pagpipilian para sa epitaxial growth ng mataas na kalidad na III-nitride films, na mahalaga para sa pagbuo ng mga susunod na henerasyong optoelectronic na device.
Tinitiyak ng precision engineering ng Semicera na ang bawat isa10x10mm Nonpolar M-plane Aluminum Substratenag-aalok ng pare-parehong kapal at patag na ibabaw, na mahalaga para sa pare-parehong pag-deposito ng pelikula at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang compact na sukat ng substrate ay ginagawa itong angkop para sa parehong pananaliksik at produksyon na kapaligiran, na nagbibigay-daan para sa flexible na paggamit sa iba't ibang mga application. Sa kanyang mahusay na thermal at chemical stability, ang substrate na ito ay nagbibigay ng maaasahang pundasyon para sa pagbuo ng mga cutting-edge optoelectronic na teknolohiya.
| Mga bagay | Produksyon | Pananaliksik | Dummy |
| Mga Parameter ng Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Error sa oryentasyon sa ibabaw | <11-20 >4±0.15° | ||
| Mga Parameter ng Elektrisidad | |||
| Dopant | n-type na Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mga Parameter ng Mekanikal | |||
| diameter | 150.0±0.2mm | ||
| kapal | 350±25 μm | ||
| Pangunahing patag na oryentasyon | [1-100]±5° | ||
| Pangunahing patag na haba | 47.5±1.5mm | ||
| Pangalawang flat | wala | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| yumuko | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kagaspangan sa harap(Si-face)(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Istruktura | |||
| Densidad ng micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Mga dumi ng metal | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kalidad sa Harap | |||
| harap | Si | ||
| Pang-ibabaw na tapusin | Si-face CMP | ||
| Mga particle | ≤60ea/wafer (laki≥0.3μm) | NA | |
| Mga gasgas | ≤5ea/mm. Pinagsama-samang haba ≤Diameter | Pinagsama-samang haba≤2*Diameter | NA |
| Orange peel/pits/stains/striations/ cracks/contamination | wala | NA | |
| Edge chips/indents/fracture/hex plates | wala | ||
| Mga lugar ng polytype | wala | Pinagsama-samang lugar≤20% | Pinagsama-samang lugar≤30% |
| Pagmarka ng laser sa harap | wala | ||
| Kalidad ng Bumalik | |||
| Back finish | C-face CMP | ||
| Mga gasgas | ≤5ea/mm, Pinagsama-samang haba≤2*Diameter | NA | |
| Mga depekto sa likod (mga edge chips/indents) | wala | ||
| Kagaspang sa likod | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pagmarka ng likod ng laser | 1 mm (mula sa itaas na gilid) | ||
| gilid | |||
| gilid | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-ready na may vacuum packaging Multi-wafer cassette packaging | ||
| *Mga Tala: Ang ibig sabihin ng "NA" ay walang kahilingan Ang mga bagay na hindi nabanggit ay maaaring sumangguni sa SEMI-STD. | |||
