Ang SiC plate ay isang uri ng 0 porosity dense body ceramics, na batay sa SiC at sintered sa 2250 ℃.Ang nilalaman ng SiC ay higit sa 99.6%, ang lakas ng baluktot ay higit sa 410mpa at ang thermal conductivity ay 140W / MK ito ang tanging ceramic na materyal na lumalaban sa HF, H2SO4 at iba pang malakas na acid corrosion.
Mga kalamangan ng silicon carbide ceramics:
1, ang koepisyent ng thermal expansion ay maliit, napakalapit sa silikon;
2, mahusay na wear resistance, katigasan pangalawa lamang sa brilyante;
3, mahusay na thermal kondaktibiti, mataas na temperatura pagtutol at mabilis na pagwawaldas ng init;
![Silicon carbide chuck3](http://www.semi-cera.com/uploads/Silicon-carbide-chuck3.png)
Mga Teknikal na Parameter
![图片1](http://www.semi-cera.com/uploads/15a6ba392.png)
-
Custom na reaksyon sintering mataas na temperatura resi...
-
Ang kagamitan ng laser microjet cutting (LMJ) ay maaaring u...
-
Ang semiconductor silicon carbide wafer boat ay maaaring...
-
Mataas na kadalisayan alumina semiconductor pagkakabukod ri...
-
Unang kalahating bahagi – SiC epitaxial equipment...
-
Semiconductor microporous ceramic vacuum Chuck ...